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HiMEMS |
Heterogeneous integrated
Micro-Electro-Mechanical-System Lab 異 質 整 合 微 系 統 實 驗 室 |
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簡介 |
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H
I M E M S 異質整合微系統實驗室 指導教授:邱 一 辦公室:工五館708 分機:31838 email:yichiu@nycu.edu.tw 實驗室:工五館813 分機 : 54414 研究領域:本實驗室以半導體微製造技術為基礎， 發展CMOS-MEMS微型感測器、微型發電機(能量擷取)、 微奈米光電系統等技術。 |
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儀器 |
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示波器：Agilent 54622A、RTO 1004 鎖相放大器 : HF2LI 波形產生器：Agilent 33220A
聲壓量測儀 : GM1352
數位IC開發平台 :
ALTERA 光功率計：NEWPORT 1830-C 單軸精密平台 其他儀器 光學零件組及光學桌 |
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