|
HiMEMS |
Heterogeneous integrated
Micro-Electro-Mechanical-System Lab 異 質 整 合 微 系 統 實 驗 室 |
||||||
|
|
|
|
|
MEMBER |
|||
|
|
|||||||
|
干涉儀 |
|
||||||
|
干涉儀：WYKO-NT1100
可提供MEMS元件高準度的2D、3D表面量測(包含結構形狀粗糙度曲率 半徑等數據圖形的量測)，對結構量測其解析度可達30 A而粗糙度可達3A。 本實驗室利用 WYKO 量取出的梳狀致動器 3D model
本實驗室利用 WYKO 量取出的梳狀致動器 2D model 及分析
本實驗室利用 WYKO 量取出的懸臂樑基部 3D model
本實驗室利用 WYKO 量取出的懸臂樑基部 2D 分析
本實驗室利用 WYKO 量取出的懸臂樑基部 3D model
本實驗室利用 WYKO 量取出的懸臂樑基部 2D 分析
|
|||||||
|
|
|||||||
|
Copyright 2021
HiMEMS Lab , NYCU. All rights reserved. 新竹市東區大學路1001號國立陽明交通大學工程五館813室 (03)5712121-#54414 |
|||||||
