HiMEMS

 

Heterogeneous integrated Micro-Electro-Mechanical-System Lab

異    質    整    合    微    系    統    實    驗    室

 

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研究

 

 

 

 

CMOS MEMS 微感測器 (CMOS MEMS micro sensor)

CMOS-MEMS壓阻式頻率輸出加速度計

具有LC差動式振盪器與數位輸出的電容式加速度計

具有可變電感的CMOS MEMS加速度計

 

 

 

 

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